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機(jī)械手臂
機(jī)械手臂
特征
軟硬件垂直整合優(yōu)勢，并且采用高精密，高剛性直驅(qū)馬達(dá)，重復(fù)精度達(dá)±0.02mm，回轉(zhuǎn)半徑小，空間使用率高。
應(yīng)用
適用於半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(晶圓取放)、光電產(chǎn)業(yè)(小型面板、小型太陽能板)、LED產(chǎn)業(yè)(藍(lán)寶石基板、膠環(huán))等取放設(shè)備。
規(guī)格資料
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項(xiàng)目 |
規(guī)格 |
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Z軸 |
行程 |
500mm |
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速度 |
250mm/s |
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T軸 |
運(yùn)轉(zhuǎn)範(fàn)圍 |
0゜~340゜ |
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角速度 |
250゜/s |
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R軸 |
行程 |
420mm |
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速度 |
750mm/s |
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重量 |
Approx. 48kg |
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潔淨(jìng)度 |
ISO Class 2(ISO 14644) |
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壽命 |
60,000hrs |
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頂部安裝板 |
290x290 mm2 |
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工作環(huán)境 |
10~40℃ |
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重覆精度 |
±0.02 mm |
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載重能力 |
0.5Kgf |
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系統(tǒng)通訊 |
RS-232,I/O |
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真空度 |
-40kPa ~ -60kPa, ?6 |
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電源 |
Single-Phase AC110V/AC220V |
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